Start Veranstaltungen Archiv 2019 Veranstaltungs-Archiv 2019 Vortragender: Dr. Bodo Kalkofen, Dr. Dirk Hagen Gastgeber: IMPRS-STNS Ort: Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle (Saale) Atomic Layer Deposition (ALD) of thin films for nanotechnological applications Tutorial Datum: 23.10.2019 Uhrzeit: 16:00 - 18:00 Vortragende(r): Dr. Bodo Kalkofen, Dr. Dirk Hagen Max-Planck-Institute of Microstructure Physics Ort: Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle (Saale) Raum: Lecture Hall, B.1.11 Gastgeber: IMPRS-STNS [mehr]
