Start Veranstaltungen Archiv 2019 Veranstaltungs-Archiv 2019 Vortragender: Dr. Niels Tas Silicon based 3D-nanomachining for wafer-scale fabrication of nano-devices Tutorial Datum: 29.05.2019 Uhrzeit: 16:00 Vortragende(r): Dr. Niels Tas University of Twente Ort: Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle (Saale) Gastgeber: IMPRS-STNS [mehr]